精密電子廠無(wú)塵室有一級(jí)、十級(jí)、百級(jí)、千級(jí)、萬(wàn)級(jí)、十萬(wàn)級(jí)、三十萬(wàn)級(jí)之分，在精密電子廠凈化裝修設(shè)計(jì)應(yīng)根據(jù)在滿足電子產(chǎn)品生產(chǎn)要求的前提下合理進(jìn)行無(wú)塵室廠房的裝修工程生產(chǎn)設(shè)備布局，合理確定各種公用動(dòng)力設(shè)施的技術(shù)參數(shù)，做到能量消耗少、運(yùn)行費(fèi)用低、生產(chǎn)效率高和建設(shè)投資。同時(shí)還需要合理進(jìn)行人流路線、物料運(yùn)輸和倉(cāng)儲(chǔ)設(shè)施的配置和布置，滿足電子產(chǎn)品無(wú)塵室廠房的裝修工程生產(chǎn)要求和產(chǎn)品生產(chǎn)工藝要求。此外還應(yīng)該盡可能提升生產(chǎn)設(shè)備的自動(dòng)化水平和物料運(yùn)輸?shù)淖詣?dòng)化水平，在經(jīng)濟(jì)、實(shí)用、安全可靠的條件下提高生產(chǎn)效率。
精密電子廠房無(wú)塵車間工程設(shè)計(jì)：
電子類產(chǎn)品更新?lián)Q代速度較快；以TFT-LCD(薄膜晶體管液晶顯示器)為代表的平板顯示器正在取代彩色顯像管顯示器；計(jì)算機(jī)、通信、消費(fèi)電子和汽車電子產(chǎn)品的迅速普及使得各種半導(dǎo)體元器件生產(chǎn)發(fā)展十分迅速。因此電子工廠無(wú)塵廠房的設(shè)計(jì)、建造必須適應(yīng)這種快速發(fā)展的需要。從無(wú)塵廠房的規(guī)劃開始，對(duì)于電子工廠無(wú)塵廠房的工藝設(shè)計(jì)、工藝布局應(yīng)充分考慮電子產(chǎn)品發(fā)展的靈活性，以滿足電子產(chǎn)品生產(chǎn)工藝改造和擴(kuò)大生產(chǎn)的需求。電子無(wú)塵廠房形式一般有隧道式、開放式、島形布置等。據(jù)調(diào)查表明，集成電路芯片制造用無(wú)塵室廠房的裝修工程一般采用隧道式和開放式，其中隧道式潔凈室主要用于5英寸、6英寸芯片制造廠，生產(chǎn)設(shè)備橫跨潔凈生產(chǎn)區(qū)和設(shè)備維護(hù)區(qū)，潔凈生產(chǎn)區(qū)對(duì)潔凈度要求嚴(yán)格，而設(shè)備維護(hù)區(qū)的空氣潔凈度等級(jí)相對(duì)較低。
精密電子無(wú)塵車間根據(jù)不同級(jí)別空氣潔凈度的空氣過濾器的選用、布置要點(diǎn)：對(duì)于三十萬(wàn)級(jí)空氣凈化處理，可采用亞高效過濾器代替高效過濾器；空氣潔凈度百級(jí)、千級(jí)、萬(wàn)級(jí)及十萬(wàn)級(jí)的空氣凈化處理，應(yīng)采用初、中、高效三級(jí)過濾器；中效或高效空氣過濾器宜按小于或等于額定風(fēng)量選用；中效空氣過濾器宜集中設(shè)置在凈化空氣調(diào)節(jié)的正壓段；高效或亞高效空氣過濾器宜設(shè)置在凈化空氣調(diào)節(jié)系統(tǒng)的末端。
精密電子廠房?jī)艋囬g等級(jí)表：
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等級(jí) |
等級(jí)說(shuō)明及車間應(yīng)用 |
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1級(jí) |
這個(gè)級(jí)別的無(wú)塵車間（無(wú)塵室，潔凈車間，潔凈室）主要用于制造集成電路的微電子工業(yè)，對(duì)集成電路的精確要求為亞微米 |
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10級(jí) |
這個(gè)級(jí)別的無(wú)塵車間（無(wú)塵室，潔凈車間，潔凈室）主要用于帶寬小于2微米的半導(dǎo)體工業(yè) |
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A級(jí) 100級(jí) |
很多人認(rèn)為，這一級(jí)無(wú)塵車間（無(wú)塵室，潔凈車間，潔凈室）是最常用，因而是最重要的無(wú)塵車間（無(wú)塵室，潔凈車間，潔凈室），人們常常錯(cuò)誤地將100級(jí)潔凈室稱為無(wú)菌室，以說(shuō)明“無(wú)菌”的或“無(wú)塵”的環(huán)境要求，100級(jí)無(wú)塵車間（無(wú)塵室，潔凈車間，潔凈室）可用于醫(yī)藥工業(yè)的無(wú)菌制造工藝等，這一無(wú)塵車間（無(wú)塵室，潔凈車間，潔凈室）大量應(yīng)用于，植如體內(nèi)物品的制造，外科手術(shù)，包括移植手術(shù)，集成器的制造，那些對(duì)細(xì)菌感染特別敏感的病人的隔離治療，比如像骨髓移植病人術(shù)后的隔離治療 |
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B級(jí) 1000級(jí) |
這個(gè)級(jí)別的無(wú)塵車間（無(wú)塵室，潔凈車間，潔凈室）主要用于高質(zhì)量光學(xué)產(chǎn)品的生產(chǎn)，還用于測(cè)試，裝配飛機(jī)蛇螺儀，裝配高質(zhì)微型軸承等 |
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C級(jí) 10000級(jí) |
萬(wàn)級(jí)無(wú)塵車間（無(wú)塵室，潔凈車間，潔凈室）用于液壓設(shè)備或氣壓設(shè)備的裝配，某些情況下也用于食品飲料工業(yè)，此外，萬(wàn)級(jí)無(wú)塵車間（無(wú)塵室，潔凈車間，潔凈室）在醫(yī)藥工業(yè)中也很常用 |
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D級(jí) 100000級(jí) |
十萬(wàn)級(jí)無(wú)塵車間（無(wú)塵室，潔凈車間，潔凈室）用于很多的工業(yè)部門，比如光學(xué)產(chǎn)品的制造，用于較小的元器件制造大型的電子系統(tǒng)，液壓或氣壓系統(tǒng)的制造，食品飲料的生產(chǎn)，醫(yī)、藥工業(yè)也常常使用這一級(jí)無(wú)塵車間 |
GB(潔凈廠房設(shè)計(jì)規(guī)范)空氣懸浮粒子的標(biāo)準(zhǔn):
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潔凈度級(jí)別 |
潔凈度級(jí)別限值 |
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0.1μm |
0.2μm |
0.3μm |
0.5μm |
1μm |
5μm |
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1 |
10 |
2 |
--- |
--- |
--- |
--- |
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2 |
100 |
24 |
10 |
4 |
--- |
--- |
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3 |
1000 |
237 |
102 |
35 |
8 |
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4（十級(jí)） |
10000 |
2370 |
1020 |
352 |
83 |
--- |
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5（百級(jí)） |
100000 |
23700 |
10200 |
3520 |
832 |
29 |
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6（千級(jí)） |
1000000 |
237000 |
102000 |
35200 |
8320 |
293 |
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7（萬(wàn)級(jí)） |
--- |
--- |
--- |
352000 |
83200 |
2930 |
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8（十萬(wàn)級(jí)） |
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--- |
--- |
3520000 |
832000 |
29300 |
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9（百萬(wàn)級(jí)） |
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35200000 |
8320000 |
293000 |
GMP(藥品生產(chǎn)質(zhì)量管理規(guī)范2010)空氣懸浮粒子的標(biāo)準(zhǔn)標(biāo)準(zhǔn):
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潔凈度級(jí)別 |
懸浮粒子最大允許數(shù)/m3 |
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靜態(tài) |
動(dòng)態(tài) |
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≥0.5μm |
≥5μm |
≥0.5μm |
≥5μm |
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A級(jí)(百級(jí)) |
3520 |
20 |
3520 |
20 |
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B級(jí)(千級(jí)) |
3520 |
29 |
352000 |
2900 |
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C級(jí)(萬(wàn)級(jí)) |
352000 |
2900 |
3520000 |
29000 |
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D級(jí)(十萬(wàn)級(jí)) |
3520000 |
29000 |
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精密電子無(wú)塵車間環(huán)境參數(shù)：
溫濕度要求：，相對(duì)濕度為55+5%。
新風(fēng)量大：由于這類凈化無(wú)塵車間內(nèi)人員比較多，可以根據(jù)以下數(shù)值應(yīng)取下列的最大值：非單向流凈化無(wú)塵室車間總送風(fēng)量的10-30%，補(bǔ)償室內(nèi)排風(fēng)和保持室內(nèi)正壓值所需的新鮮空氣量，保證室內(nèi)每人每小時(shí)的新鮮空氣量≥40m3/h。
送風(fēng)量大：為了滿足精密電子無(wú)塵凈化車間內(nèi)的潔凈度及熱濕平衡，需要較大的送風(fēng)量，例如300平方米的車間，吊頂高度為2.5米，如果是千級(jí)凈化無(wú)塵車間，送風(fēng)量就需要300×2.5×30=22500m3/h的送風(fēng)量(換氣次數(shù)，是≥25次/h)。
壓差：主車間對(duì)相鄰房間≥5Pa
換氣次數(shù)：百級(jí)：斷面風(fēng)速0.3-0.5m/s，千級(jí)潔凈車間50－52次/小時(shí)；萬(wàn)級(jí)凈化車間15－25次/小時(shí)；十萬(wàn)級(jí)無(wú)塵車間10－15次/小時(shí)。
壓差：主車間對(duì)相鄰房間≥5Pa。
溫度:冬季＞16℃±2℃；夏季 ＜26℃±2℃；溫度一般為23+2℃
相對(duì)濕度：45－65％（RH）。
噪聲≤65dB（A）。
新風(fēng)補(bǔ)充量：總送風(fēng)量的20％－30％。
照度：≥300Lux。
精密電子凈化車間圖片：
十萬(wàn)級(jí)精密電子凈化車間：
十萬(wàn)級(jí)電子廠生產(chǎn)車間：
百級(jí)精密電子廠無(wú)塵車間：
千級(jí)精密電子無(wú)塵車間：
