精密電子廠無塵室有一級(jí)、十級(jí)、百級(jí)、千級(jí)、萬級(jí)、十萬級(jí)、三十萬級(jí)之分，在精密電子廠凈化裝修設(shè)計(jì)應(yīng)根據(jù)在滿足電子產(chǎn)品生產(chǎn)要求的前提下合理進(jìn)行無塵室廠房的裝修工程生產(chǎn)設(shè)備布局，合理確定各種公用動(dòng)力設(shè)施的技術(shù)參數(shù)，做到能量消耗少、運(yùn)行費(fèi)用低、生產(chǎn)效率高和建設(shè)投資。同時(shí)還需要合理進(jìn)行人流路線、物料運(yùn)輸和倉儲(chǔ)設(shè)施的配置和布置，滿足電子產(chǎn)品無塵室廠房的裝修工程生產(chǎn)要求和產(chǎn)品生產(chǎn)工藝要求。此外還應(yīng)該盡可能提升生產(chǎn)設(shè)備的自動(dòng)化水平和物料運(yùn)輸?shù)淖詣?dòng)化水平，在經(jīng)濟(jì)、實(shí)用、安全可靠的條件下提高生產(chǎn)效率。
精密電子廠房無塵車間工程設(shè)計(jì)：
電子類產(chǎn)品更新?lián)Q代速度較快；以TFT-LCD(薄膜晶體管液晶顯示器)為代表的平板顯示器正在取代彩色顯像管顯示器；計(jì)算機(jī)、通信、消費(fèi)電子和汽車電子產(chǎn)品的迅速普及使得各種半導(dǎo)體元器件生產(chǎn)發(fā)展十分迅速。因此電子工廠無塵廠房的設(shè)計(jì)、建造必須適應(yīng)這種快速發(fā)展的需要。從無塵廠房的規(guī)劃開始，對于電子工廠無塵廠房的工藝設(shè)計(jì)、工藝布局應(yīng)充分考慮電子產(chǎn)品發(fā)展的靈活性，以滿足電子產(chǎn)品生產(chǎn)工藝改造和擴(kuò)大生產(chǎn)的需求。電子無塵廠房形式一般有隧道式、開放式、島形布置等。據(jù)調(diào)查表明，集成電路芯片制造用無塵室廠房的裝修工程一般采用隧道式和開放式，其中隧道式潔凈室主要用于5英寸、6英寸芯片制造廠，生產(chǎn)設(shè)備橫跨潔凈生產(chǎn)區(qū)和設(shè)備維護(hù)區(qū)，潔凈生產(chǎn)區(qū)對潔凈度要求嚴(yán)格，而設(shè)備維護(hù)區(qū)的空氣潔凈度等級(jí)相對較低。
精密電子無塵車間根據(jù)不同級(jí)別空氣潔凈度的空氣過濾器的選用、布置要點(diǎn)：對于三十萬級(jí)空氣凈化處理，可采用亞高效過濾器代替高效過濾器；空氣潔凈度百級(jí)、千級(jí)、萬級(jí)及十萬級(jí)的空氣凈化處理，應(yīng)采用初、中、高效三級(jí)過濾器；中效或高效空氣過濾器宜按小于或等于額定風(fēng)量選用；中效空氣過濾器宜集中設(shè)置在凈化空氣調(diào)節(jié)的正壓段；高效或亞高效空氣過濾器宜設(shè)置在凈化空氣調(diào)節(jié)系統(tǒng)的末端。
精密電子廠房凈化車間等級(jí)表：
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等級(jí) |
等級(jí)說明及車間應(yīng)用 |
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1級(jí) |
這個(gè)級(jí)別的無塵車間（無塵室，潔凈車間，潔凈室）主要用于制造集成電路的微電子工業(yè)，對集成電路的精確要求為亞微米 |
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10級(jí) |
這個(gè)級(jí)別的無塵車間（無塵室，潔凈車間，潔凈室）主要用于帶寬小于2微米的半導(dǎo)體工業(yè) |
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A級(jí) 100級(jí) |
很多人認(rèn)為，這一級(jí)無塵車間（無塵室，潔凈車間，潔凈室）是最常用，因而是最重要的無塵車間（無塵室，潔凈車間，潔凈室），人們常常錯(cuò)誤地將100級(jí)潔凈室稱為無菌室，以說明“無菌”的或“無塵”的環(huán)境要求，100級(jí)無塵車間（無塵室，潔凈車間，潔凈室）可用于醫(yī)藥工業(yè)的無菌制造工藝等，這一無塵車間（無塵室，潔凈車間，潔凈室）大量應(yīng)用于，植如體內(nèi)物品的制造，外科手術(shù)，包括移植手術(shù)，集成器的制造，那些對細(xì)菌感染特別敏感的病人的隔離治療，比如像骨髓移植病人術(shù)后的隔離治療 |
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B級(jí) 1000級(jí) |
這個(gè)級(jí)別的無塵車間（無塵室，潔凈車間，潔凈室）主要用于高質(zhì)量光學(xué)產(chǎn)品的生產(chǎn)，還用于測試，裝配飛機(jī)蛇螺儀，裝配高質(zhì)微型軸承等 |
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C級(jí) 10000級(jí) |
萬級(jí)無塵車間（無塵室，潔凈車間，潔凈室）用于液壓設(shè)備或氣壓設(shè)備的裝配，某些情況下也用于食品飲料工業(yè)，此外，萬級(jí)無塵車間（無塵室，潔凈車間，潔凈室）在醫(yī)藥工業(yè)中也很常用 |
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D級(jí) 100000級(jí) |
十萬級(jí)無塵車間（無塵室，潔凈車間，潔凈室）用于很多的工業(yè)部門，比如光學(xué)產(chǎn)品的制造，用于較小的元器件制造大型的電子系統(tǒng)，液壓或氣壓系統(tǒng)的制造，食品飲料的生產(chǎn)，醫(yī)、藥工業(yè)也常常使用這一級(jí)無塵車間 |
GB(潔凈廠房設(shè)計(jì)規(guī)范)空氣懸浮粒子的標(biāo)準(zhǔn):
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潔凈度級(jí)別 |
潔凈度級(jí)別限值 |
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0.1μm |
0.2μm |
0.3μm |
0.5μm |
1μm |
5μm |
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1 |
10 |
2 |
--- |
--- |
--- |
--- |
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2 |
100 |
24 |
10 |
4 |
--- |
--- |
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3 |
1000 |
237 |
102 |
35 |
8 |
--- |
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4（十級(jí)） |
10000 |
2370 |
1020 |
352 |
83 |
--- |
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5（百級(jí)） |
100000 |
23700 |
10200 |
3520 |
832 |
29 |
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6（千級(jí)） |
1000000 |
237000 |
102000 |
35200 |
8320 |
293 |
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7（萬級(jí)） |
--- |
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--- |
352000 |
83200 |
2930 |
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8（十萬級(jí)） |
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--- |
3520000 |
832000 |
29300 |
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9（百萬級(jí)） |
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--- |
--- |
35200000 |
8320000 |
293000 |
GMP(藥品生產(chǎn)質(zhì)量管理規(guī)范2010)空氣懸浮粒子的標(biāo)準(zhǔn)標(biāo)準(zhǔn):
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潔凈度級(jí)別 |
懸浮粒子最大允許數(shù)/m3 |
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靜態(tài) |
動(dòng)態(tài) |
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≥0.5μm |
≥5μm |
≥0.5μm |
≥5μm |
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A級(jí)(百級(jí)) |
3520 |
20 |
3520 |
20 |
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B級(jí)(千級(jí)) |
3520 |
29 |
352000 |
2900 |
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C級(jí)(萬級(jí)) |
352000 |
2900 |
3520000 |
29000 |
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D級(jí)(十萬級(jí)) |
3520000 |
29000 |
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精密電子無塵車間環(huán)境參數(shù)：
溫濕度要求：，相對濕度為55+5%。
新風(fēng)量大：由于這類凈化無塵車間內(nèi)人員比較多，可以根據(jù)以下數(shù)值應(yīng)取下列的最大值：非單向流凈化無塵室車間總送風(fēng)量的10-30%，補(bǔ)償室內(nèi)排風(fēng)和保持室內(nèi)正壓值所需的新鮮空氣量，保證室內(nèi)每人每小時(shí)的新鮮空氣量≥40m3/h。
送風(fēng)量大：為了滿足精密電子無塵凈化車間內(nèi)的潔凈度及熱濕平衡，需要較大的送風(fēng)量，例如300平方米的車間，吊頂高度為2.5米，如果是千級(jí)凈化無塵車間，送風(fēng)量就需要300×2.5×30=22500m3/h的送風(fēng)量(換氣次數(shù)，是≥25次/h)。
壓差：主車間對相鄰房間≥5Pa
換氣次數(shù)：百級(jí)：斷面風(fēng)速0.3-0.5m/s，千級(jí)潔凈車間50－52次/小時(shí)；萬級(jí)凈化車間15－25次/小時(shí)；十萬級(jí)無塵車間10－15次/小時(shí)。
壓差：主車間對相鄰房間≥5Pa。
溫度:冬季＞16℃±2℃；夏季 ＜26℃±2℃；溫度一般為23+2℃
相對濕度：45－65％（RH）。
噪聲≤65dB（A）。
新風(fēng)補(bǔ)充量：總送風(fēng)量的20％－30％。
照度：≥300Lux。
精密電子凈化車間圖片：
十萬級(jí)精密電子凈化車間：
十萬級(jí)電子廠生產(chǎn)車間：
百級(jí)精密電子廠無塵車間：
千級(jí)精密電子無塵車間：
